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青岛晨立电子有限公司

扩散炉, 焊接炉, 真空炉, 加热炉体

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真空炉--实验真空炉--青岛晨立电子有限公司
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产品: 浏览次数:41真空炉--实验真空炉--青岛晨立电子有限公司 
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最后更新: 2017-10-22 13:56
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详细信息

“真空炉--实验真空炉--青岛晨立电子有限公司”参数说明

是否有现货: 认证: 高新企业
品牌: 晨立 加工定制:
最大电压: 380 功率: 24
额定温度: 1080 主要用途: 加热电炉
产品认证: 高新企业 型号: CL
规格: CL 商标: 晨立
包装: 木箱 产量: 500

“真空炉--实验真空炉--青岛晨立电子有限公司”详细介绍

试验炉
设备用途:实验炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

产品描述:
◆软着陆载片装置
   软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。
◆高精度温度控制
   新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,保证工艺过程中温度的快速稳定。
◆高性能进口元器件
   组合关键件采用进口管件,且为半导体级别;优质的元器件组合,从而保证成膜质量。

主要技术参数: 
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆结构型式:卧式热壁型
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62dB(A)震动:≤3μm
◆控制方式: 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

青岛晨立电子有限公司为各大技术院校、试验工程,专业打造试验炉,可根据客户需求定制各种非标实验炉和温控系统。

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